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1、高效過濾器安裝檢查

1.1高效過濾器安裝前，必須在安裝現場拆開包裝進行外觀檢查，內容包括濾紙、密封膠和框架有無損壞，邊長、對角線和厚度尺寸等是否符合要求；杠架有無毛刺和銹斑（金屬框）；有無產品合格證，技術性能是否符合設計要求。

1.2檢查過濾器的濾材是否完好。

1.3濾材與其框架內部的連接是否嚴密。

1.4過濾器框架的密封墊付和過濾器組支撐柜架之間連接是否穩固。

2、高效過濾器的檢漏。

2.1測試方法：塵埃粒子計數器法。

2.2測試范圍：對于D級及更高潔凈度要求的潔凈室，包括層流工作臺、百級層流罩、隧道烘箱等設備上的高效過濾器，都必須在現場進行檢查檢漏。

3、檢測材料及儀器。

3.1塵源：含塵濃度為3.5×10⁴粒/L，微粒≥0.5μm的氣體。

3.2儀器：塵埃粒子計數器。

4、粒子計數器法檢漏方法。

4.1在被檢測高效過濾器上風側以大于或等于0.5μm微粒，含塵濃度為3.5×104粒/L的空氣做為塵源，調整過濾器在接近設計風速的條件下運行，用粒子計數器在被測高效過濾器下風側測得含塵濃度。

4.2根據《CLJ-03A型塵埃粒子計數器SOP》正確使用計數器。

4.3用塵埃粒子計數器采樣頭掃描過高效濾器的出風側。采樣頭離過濾器距離約2～4cm處，沿過濾器內邊框均速移動計數器探頭巡檢，掃描速度應低于5cm/s。

4.4檢漏標準控制表。

5、泄漏后處理：

5.1出現泄漏時，用環氧樹脂硅膠堵漏或螺栓緊固以后再次進行掃描巡檢，儀表指示為“0”，表明漏點已被堵住。

5.2高效過濾器泄漏處允許用專用膠水修補，但是單個泄漏處的面積不能大于過濾器總面積的1%，全部泄漏點的面積不能大于過濾器總面積的5%，否則必須更換。

5.3過濾器修理或重裝后必須重新進行測試。

6、檢測頻度：

6.1在安裝或更換高效過濾器時應進行檢測。

6.2正常使用情況下，每年至少檢測一次。